激光塵埃粒子計數(shù)器，六粒徑通道，半導(dǎo)體等工業(yè)潔凈檢測

激光塵埃粒子計數(shù)器的工作原理是光散射現(xiàn)象。當(dāng)空氣中的微粒在激光束的照射下，會發(fā)生散射，散射光的強度與微粒的表面積成正比，可以推斷出微粒的大小和數(shù)量。通過內(nèi)置的采樣泵抽取待測氣體，使氣體以規(guī)定的流量通過激光頭。氣體中的塵埃粒子散射激光信號，這些散射光被光學(xué)傳感器接收并轉(zhuǎn)化為電脈沖信號。隨后，這些脈沖信號經(jīng)過放大和數(shù)字信號處理，與標(biāo)準(zhǔn)粒子信號進行比較，最終將結(jié)果以粒子數(shù)量和粒徑分布的形式顯示出來。

六粒徑通道的激光塵埃粒子計數(shù)器，能夠一次采樣同時測得 0.3μm、0.5μm、1.0μm、3.0μm、5.0μm、10.0μm 這六個粒徑通道的塵埃粒子數(shù)，實時顯示各粒徑通道粒子的數(shù)目及變化情況。

在半導(dǎo)體制造行業(yè)，生產(chǎn)過程對環(huán)境潔凈度要求很嚴苛。比如在光刻環(huán)節(jié)，塵埃粒子落在晶圓上，可能導(dǎo)致光刻圖案出現(xiàn)偏差，使芯片出現(xiàn)短路、斷路等功能性故障，降低產(chǎn)品良率。在 CMP 拋光區(qū)，較大粒徑如 5.0μm - 10.0μm 的塵埃粒子，可能會在拋光過程中造成晶圓表面的劃痕，影響芯片的電學(xué)性能和可靠性。而六粒徑通道的激光塵埃粒子計數(shù)器，能夠精準(zhǔn)地監(jiān)測到不同粒徑范圍的塵埃粒子濃度變化，幫助企業(yè)及時發(fā)現(xiàn)潛在的污染源。若在某一區(qū)域檢測到 0.3μm - 1.0μm 粒徑的粒子濃度異常升高，企業(yè)可排查是否是空氣過濾系統(tǒng)中針對微小粒子的過濾層出現(xiàn)了破損；若 5.0μm - 10.0μm 粒徑的粒子增多，或許可能是設(shè)備的機械運動部件產(chǎn)生了磨損碎屑，需及時進行維護。

在醫(yī)藥工業(yè)的無菌藥品生產(chǎn)車間，同樣需要嚴格控制塵埃粒子。對于 A 級區(qū)，需要重點在線監(jiān)測≥0.5μm 粒子，動態(tài)時其數(shù)量需≤3520/m3，靜態(tài)時≤20/m3。激光塵埃粒子計數(shù)器的六粒徑通道可全面監(jiān)測不同粒徑粒子，確保生產(chǎn)環(huán)境符合標(biāo)準(zhǔn)，保障藥品質(zhì)量安全。

除了半導(dǎo)體和醫(yī)藥行業(yè)，在光學(xué)、精密機械加工等對環(huán)境潔凈度有高要求的工業(yè)領(lǐng)域，也需要六粒徑通道的激光塵埃粒子計數(shù)器。它為企業(yè)提供了全面、精準(zhǔn)的潔凈環(huán)境檢測數(shù)據(jù)，助力企業(yè)及時采取措施，優(yōu)化生產(chǎn)環(huán)境，提升產(chǎn)品質(zhì)量與生產(chǎn)效率。